前のページ 1/1 次のページ

半導体工学(はんどうたいこうがく)は、半導体素子の設計・製造、寿命などの性能評価、半導体を利用した計測などを取り扱う工学である。下記のように多様な技術が関係する。

◆ 設計

・ 回路設計

  ・ CAD、EDA

・ プロセス・デバイス構造の設計(シミュレーション)

  ・ TCAD (プロセスシミュレーション、デバイスシミュレーション)

・ 製造用機器の設計

◆ 製造技術

・ チョクラルスキー法

・ ゾーンメルト法

・ 拡散(熱拡散)・酸化(熱酸化)

・ 蒸着

・ スパッタリング

・ スピンコート

・ CVD(化学気相成長法)

・ PVD(物理気相成長法)

・ MBE(分子線エピタキシー法)

・ エピタキシャル成長

・ イオン注入

・ フォトリソグラフィ(パターニング)

・ エッチング

・ FIB(Focused Ion Beam)

・ CMP(化学機械研磨)

・ メタライズ(配線)

  ・ 多層配線

・ 製造時の欠陥検出

  ・ テストパターン

  ・ 工程管理

・ ダイシング

・ パッケージング(組立)

◆ 半導体の物性・特性の測定手段

半導体の示す様々な物性は、研究開発や製造時の特性評価などにも利用されるほか、多くは半導体の用途にも深く関係する。

・ 電気伝導度

・ ホール効果

・ PN接合やショットキー接合の特性:

  ・ 電流-電圧特性、空乏層容量、ゼーベック効果・ペルティエ効果、光起電力効果、エレクトロルミネセンス

・ 組成や不純物:EDX、EPMA、SIMS、ICP

・ 構造:光学顕微鏡、XRD、RBS、ラマン効果、SEM、TEM、AFM、XRF、SPM、SCM

・ バンド構造など:光電効果・光電子分光、逆光電子分光、DLTS、フォトルミネセンス

◆ 製品の性能評価

・ 電気的特性

  ・ DC特性

  ・ AC特性

・ 寿命

・ 信頼性

◆ 関連項目

・ エレクトロニクス用語一覧

◆ 外部リンク

・ [外部リンク] 財団法人 新機能素子研究開発協会

・ [外部リンク] 社団法人 日本半導体製造装置協会

前のページ 1/1 次のページ

・半導体工学 page1